Die alten Leica Geräte sind ja immer noch sehr teuer...

Ist natürlich immer relativ weil die Dinger neu vor 20 Jahren auch mal 30000DM gekostet haben. Dann ist nicht nur das Leica Tachymeter zu kaufen für Einmannbetrieb, ebenso denken an Controller, Funkgerät(e), passenden Reflektor, Prismenstab und Stabhalterung für Controller, Akkus, Ladegerät und ein paar Kabel sind so das was mir auf die Schnelle einfällt.

Von welchem Gerät hätte ich denn den größten Kosten-Nutzen-Faktor?

Das mit dem du dich am besten auskennst, bestenfalls schon einmal ausprobiert hast, der Datenfluss für deine geplante Anwendung gegeben ist und evtl. Onboardprogramme auch freigeschaltet sind, reflektorlos misst, kalibiert ist, keine demnächst leere interne Backupbatterie hat, du an deinen vorhanden Laptop anschließen kannst (evtl WinXP für alte Datenübertragungsprogramme notwendig),.... und ....
Kommt halt drauf an wie oft und wofür du das ganze nutzen willst.
Mir gefällt von den oben genannten das Leica TCRA11xx plus am besten. Da gibts aktuell noch neue nachbau Akkus für einen akzeptabelen Preis.

Gerne auch andere Empfehlungen die ich jetzt nicht genannt habe

Der Vorgänger der TCRA1103 bei Leica war auch Robotic fähig mit Funkgeräten und Controller ich glaube die hießen TCA1100L und TCA1800L.
Dann kenne ich noch den Vorgänger der Trimble 5600 (gleiche Platform), jedoch meist ohne reflektorlose Messung "Geodimeter 600 Serie" in orange.
Auch Trimble ATS (eigentlich für Maschinensteuerung aber müsste auch gehen).
Oder Geodimeter4000 von ca. 1990, aber vielleicht bischen zu alt .

Auch Topcon GPT-8005A, Topcon GPT-9005A, Topcon GTS-815.

Spectra Precision Focus 10.

Das Elta S10/S20 fand ich immer etwas groß und schwer mit knapp 9kg. Wobei die Bedienbarkeit mit dem Zeiss Control Unit (CU) auch recht intuitiv und angenehm war.

Datenblatt von einigen hab ich da falls du möchtest per PN/Email melden.